精密离子减薄仪PCB抄板及芯片解密简介

                                                                                                             精密离子减薄仪
        如果说，进取拼搏是佳创的精神食量，反向技术研究就是佳创的物质食量，在精神食量和物质食量的共同哺育下，佳创攻克了数万件反向技术难题，成就了反向技术领域的王者地位。本着“技术为民”所用的原则，佳创将能为人们的生活和工作带来便利的产品作为研究的重点，这就是佳创众多案例中的一项，现将其功能介绍如下：
技术参数
离子源
离子枪 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体
减薄角度 +10° 到 -10°，每个离子枪均独立可调节
离子束能量 100eV 到6.0 KeV
光束直径 5keV 下350μm FWHM - 宽离子枪5keV 下800μm FWHM
离子电流密度 最大 10mA/cm2
离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束
离子束尺寸 通过气体控制调整
样品台
样品尺寸 3mm或2.3mm
底座 Gatan 专利DuoPost™（标准）或者石磨载台（可选配）
旋转速率 1rpm - 6rpm
离子束调制 针对特殊横截面可选择单面或双面减薄
观测器 双目显微镜 40X或80X
CCD相机搭配17’’LCD显示器 300x-2200x（可选配）

真空
干燥泵系统 两个部分，隔膜机械泵搭配一个70 升/秒涡轮分子泵
压力 5E-6 Torr（6.6E-4Pa）基本压力
8E-5 Torr（10.7E-3Pa）工作压力
真空计 样品室冷阴极标尺，搭配固态压力传感器
样品调换 Gatan专利 WhisperlokTM，样品更换时间＜1分钟
样品的Airlock <30 秒

尺寸及功率
总尺寸 560mmW x 480mmD x 430mmH (22W x 19D x 17H)
货运重量 45kg （100 lbs）
能量消耗 运行时需200W，离子枪关闭时需100W
电源要求 通用电压 100VAC-240VAC，50/60Hz（用户需确定电压和频率）
气体 氩气 25psi （1.42 bar,0.18 MPa）

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