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复合分子泵PCB抄板及技术克隆案例实例

                                                                                                                  复合分子泵 
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技术参数
抽气速率(l/s) 1600
1600
压缩比 N2:108;H2:5×103
极限压强(Pa) ≤1×10-6
额定转速(rpm) 27000
启动时间(min) <8
轴承 陶瓷轴承
排气口法兰 KF50(DN50 ISO-KF)
进气口法兰 LF250(DN250 ISO-K)
振动值((m)) ≤0.1
建议前级泵(l/s) 15
冷却水温度(℃) ≤25
泵体烘烤温度(℃) ≤100
环境温度(℃) 5-40
充油量(ml) 150
安装方式 竖直±5°
重量(kg) 47 
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